Anträge
- Versand-/Wareneingangsbereich: Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktionskassette zu bewegen.
- Epitaktischer Bereich : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktions- oder Spezial-EPI-Prozesskassette zu bewegen.
- Bereiche der Nasschemie : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und einer Teflon-PFA-Kassette für den Nassprozess zu bewegen, wenn sie in Bereiche der Nasschemie gelangen.
- Brennflächen für thermische Prozesse : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und Metall- oder Quarzkassetten zu bewegen, wenn sie in thermische Prozessbereiche gelangen
- Mess- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers können auch in Mess- und Inspektionsbereichen auftreten, in denen Wafer analysiert und auf Defekte und andere Qualitätskontrollmaßnahmen untersucht werden.
- Sonden- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette auf eine WIP-Produktionskassette zu verschieben.
- Ungerade-Gerade Geteilte Lose : Spezialwafer-Transfers werden verwendet, um übergeordnete Lose in ungerade (13) und gerade (12) Gruppen aufzuteilen. Die Aufteilung des übergeordneten Loses in ungerade und gerade Gruppen ist eine gängige Praxis in der Halbleiterfertigung, die dazu beiträgt, Qualität, Konsistenz und Effizienz im Produktionsprozess zu gewährleisten.
- Wafer-Flipping/Invertieren: Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer von einer Kassette in eine andere zu bewegen, die um 180° invertiert wurde. In der Halbleiterfertigung gibt es verschiedene Prozesse, bei denen die Rückseite eines Wafers bearbeitet wird. Diese Prozesse können unter anderem Rückseitenlithographie, Ätzen, Abscheiden und Kleben umfassen. Um diese Prozesse durchzuführen, muss der Hersteller den Wafer so umdrehen, dass die Rückseite nach oben zeigt.
Die WHS-T1 SafeGuard-Serie ist das fortschrittlichste Bulk-Wafer-Transfersystem auf dem Markt und bietet höchste Präzision und Sicherheit bei der Handhabung empfindlicher Wafer. Als eines der wenigen Systeme, das speziell für den Transfer dünner Wafer entwickelt wurde, ist es hocheffektiv beim Übertragen von verzogenen oder gebogenen Wafern, ohne Kantenabrieb oder mechanische Stöße zu verursachen, was zu höheren Ausbeuten und weniger Defekten führt. Die kompakte Stellfläche des Systems macht es ideal für Reinraumumgebungen mit begrenztem Platzangebot und bietet sowohl Leistung als auch Effizienz.
Der WHS-T1 ist für Wafer von 76 mm bis 200 mm ausgelegt, einschließlich InP-, GaAs-, GaN- und SiC-Verbindungswafer. Der motorisierte 25-teilige Transferarm hebt die Wafer sanft aus der Kassette an, so dass der Wafer nicht mehr in einer Kassette verschoben werden muss oder das Risiko einer dünnen Waferpositionierung auf einem vertikalen Bewegungssystem besteht. Die Touchscreen-Schnittstelle und der Lichtmast des SafeGuard ermöglichen eine Echtzeitkommunikation mit dem Bediener und zeigen den Systemstatus und den Übertragungsfortschritt an, um den Betrieb zu optimieren.
Für Wafer-Flipping-/Invertierungsanwendungen kann der WHS-T1 speziell mit einem Tisch bestellt werden, der sowohl die Standard- als auch die invertierte Kassettenbeladung unterstützt, so dass die H-Bar "oben" oder "unten" positioniert werden kann. Dies ermöglicht es dem Bediener, Wafer aus der Kassette zu übertragen, die Kassette manuell umzudrehen und die Wafer zurückzubringen, was ihn ideal für die Rückseitenverarbeitung macht.
Der WHS-T1 ist Reinraumtauglichkeit nach ISO 3 (FS209E Klasse 1) und SEMI-konform und eignet sich sowohl für High- als auch für Low-Profile-Kassetten. Der WHS-T1 wird in einer ISO9001-zertifizierten und CE-zertifizierten Anlage hergestellt und ist die branchenweit fortschrittlichste und zuverlässigste Lösung für den Transfer von Wafern in hochpräzisen Halbleiterumgebungen.
