Der WHS-T1-1201 ist eine kompakte, tischbasierte 300-mm-Wafer-Transferstation, die dafür entwickelt wurde, einen sicheren und effizienten Transport hochwertiger Silizium-Wafer zwischen SEMI-Standard-FOUPs, FOSBs und offenen 300-mm-Metallkassetten zu ermöglichen. Das für hochpräzise Halbleiterbetriebe konzipierte System ist für den Einsatz in Reinräumen, die Sicherheit des Bedieners und die einfache Integration in bestehende manuelle Arbeitsabläufe optimiert.
Der WHS-T1-1201 ist für die Platzierung auf einem Standard-Reinraumtisch konzipiert und erfüllt die ergonomischen Ladehochforderungen des SEMI S8. Die integrierte motorisierte Drehstufe richtet das FOUP/FOSB mit einem manuellen Öffner wie dem WHS-O5-FOUP in die richtige Ausrichtung für das Entfernen der Tür aus. Sobald die Tür entfernt ist, verschiebt sich die Stufe automatisch, um einen nahtlosen Zugang für den Wafer-Transfer zu ermöglichen.
Im Zentrum des Systems befindet sich ein doppelter Kohlefaser-Transferarm mit 25-Positionen antistatischen Stäben, die nur die Rückseite jedes Wafers sanft eingreifen – wodurch der Kontakt mit dem Schlitten entfällt und die Belastung während des Handlings minimiert wird. Das Tool ist in der Lage, ein vollständiges FOUP oder FOSB (25 Wafer) in weniger als einer Minute zu übertragen, mit hoher Wiederholbarkeit und geringem Risiko der Teilchenerzeugung.
Die SafeGuard-Schnittstelle verfügt über ein Touchscreen-Bedienfeld und ein Lichtturmsystem, das während des Betriebs Echtzeit-Rückmeldungen und Systemstatus bietet. Mehrere Sicherheitssensoren sind im gesamten Werkzeug integriert, um Fehlstellungen, falsche Kassettenplatzierung oder Eindringen des Bedieners zu erkennen – und schützen so sowohl die Wafer als auch den Benutzer zu jeder Zeit.
Wichtige Merkmale:
- Speziell für 300 mm Si-Wafer in FOUPs, FOSBs und Metallkassetten (Aluminium oder Edelstahl) entwickelt.
- Antistatische Carbonfaser-Transferstäbe minimieren den Kontakt der Wafer-Rückseite
- Motorisierte Drehstufe unterstützt manuelles Entfernen der Tür mit Werkzeugen wie WHS-O5-FOUP
- 25-Wafer-Transfer in weniger als 1 Minute abgeschlossen
- Touchscreen- und Lichtturm-Oberfläche für benutzerfreundlichen Betrieb und Prozessübersicht
- Mehrere integrierte Sicherheitssensoren schützen Wafer und Personal
- Ergonomische SEMI S8-konforme Lastenhöhe
- Kompatibel mit SEMI-Standard-FOUPs, FOSBs und Kassetten
- ISO 3 (FS209E Klasse 1) Reinraum-kompatibel
- Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten Einrichtung, CE-zertifiziert
Das WHS-T1-1201 ist das ideale Werkzeug für Wafer-Transferanwendungen, bei denen Präzision, Sicherheit und Durchsatz entscheidend sind – es überbrückt die Lücke zwischen manuellem Laden und Vollautomatisierung mit unvergleichlicher Flexibilität und Zuverlässigkeit.
