Anträge:
- Backen- Langfristige thermische Bake-Anwendungen, bei denen die Wafer mehrere Tage in Öfen belassen werden.
- Handhabung dünner Wafer - Handhabung dünner Wafer, bei denen scharfe, dünne Wafer in Kunststoffkassetten geschnitten werden.
- Dicke Wafer - Gebondete oder dicke Waferanwendungen, bei denen Kunststoffkassetten nach Industriestandard aufgrund von Steckplatzabmessungen nicht funktionieren.
- Ultraschall und Megaschall - Reinigungsanwendungen, bei denen Edelstahlkassetten mit offener Seitenwand eine bessere Leistung erbringen als schallwellendämpfende Kunststoffkassetten.
Die M3-Serie ist ein Hochtemperatur-Edelstahl für Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm (8"). SEMI-konformer 25-Schlitz, 6,35 mm (0,250") Rastermaß, 25,4 mm (1,00") D1, 8° Schlitzwinkel im Profil einer Industrie-Kunststoffkassette. Elektropolierter (EP) Typ 316 Edelstahl. Für die thermische Automatisierung, allgemeine Bake-Anwendungen bis 550 °C; oder Mega- und Ultraschall-Reinigungsanwendungen.
