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Material
Aluminium
Aluminium (beschichtet)
Größe des Wafers
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
76 mm (3")
Schlitze
25
Oben/Unten
3 Stangen / H-Stange
Stirnwand / H-Stange
Max. Betriebstemperatur
Bis zu 250°C
Oberflächengüte
Hart, klar eloxiert (HC)

Aluminium-Box-Kassetten

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Legacy-Kassette, Aluminium-Deckplatte (beschichtet), 25 Schlitze, schlitzförmig eckig (WHS-M2)
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WHS
Legacy-Kassette, Aluminium-Deckplatte (beschichtet), 25 Schlitze, schlitzförmig eckig (WHS-M2)
Die M2-Serie AMC ist eine Ganzaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung, bis zu 250° C.
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4 Optionen:
Legacy-Kassette, Aluminium-Deckplatte (beschichtet), 25 Schlitze, schlitzförmig eckig (WHS-M2) 76 mm (3")Legacy-Kassette, Aluminium-Deckplatte (beschichtet), 25 Schlitze, schlitzförmig eckig (WHS-M2) 100 mm (4")Legacy-Kassette, Aluminium-Deckplatte (beschichtet), 25 Schlitze, schlitzförmig eckig (WHS-M2) 150 mm (6")
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Legacy-Kassette, Aluminium (beschichtet), 25 Schlitze, schlitzförmig eckig (WHS-M2)
Die M2-Serie AMC ist eine Ganzaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung, bis zu 250° C.
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