Die M2-Serie AMC ist eine Ganzaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung, bis zu 250° C.
Die M2-Serie AMC ist eine Ganzaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung, bis zu 250° C.